真空矩形閥

簡要描述：真空矩形閥廣泛應用于半導體、光電產(chǎn)業(yè)之鍍膜設備，安裝于生產(chǎn)線與過渡腔室（load-lock chamber），過渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統(tǒng)（handling system），傳輸系統(tǒng)（handling system）與制程腔室（process chamber）等需要真空與壓力分隔的地方。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2025-04-15
訪問量：1986
產(chǎn)品資料：

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產(chǎn)品分類

詳細介紹

品牌	其他品牌	產(chǎn)地	進口
加工定制	否

產(chǎn)品應用

Htc真空矩形閥是采用了直連驅(qū)動技術的真空閥，外形尺寸小，設計緊湊，所有動件皆位于大氣側因而與真空側隔絕，可減少粉塵產(chǎn)生，并提升產(chǎn)品的使用壽命。另外還有無氣壓時的封合自鎖保護，封板快速拆裝設計易維修等優(yōu)點。

設計原理/特征

l 低振動及低粉塵設計(Low vibration and Low particle)

l 利用凸輪機構與彈簧完成封板封合動作。

l 雙氣壓缸、單出力軸驅(qū)動。

l 驅(qū)動軸桿封合頂緊輔助裝置。

l 無氣壓時的封合自鎖保護裝置。

l 封板快速拆裝設計，方便O-ring維修更換。

l 100 萬周期壽命。

真空矩形閥分類

l 標準型矩形閘閥(Standard Rectangular Transfer valves)

l 標準型矩形門型閘閥(Rectangular doors)

l 大型矩形閘閥(Large rectangular transfer valves)

l 大型矩形門型閘閥(Large rectangular doors)

Body 材質(zhì)

鋁合金或不銹鋼(Aluminum or Stainless)

Body 表面處理

電解拋光 or 鋁硬陽處理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)

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