INFICON殘余氣體質(zhì)譜儀

Transpector 2INFICON殘余氣體質(zhì)譜儀

Transpector 2的特點：

1、100，200和300-amu系統(tǒng)帶法拉第杯或電子倍增器/法拉第杯的組合。

2、改進的氫檢測。

3、的峰值和位置的穩(wěn)定性。

4、與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍。

5、快速掃描低值訊號。

6、9個量級的電子學(xué)動態(tài)量程。

7、用于單傳感器和多傳感謝器系統(tǒng)的軟件選件

8、分壓測量從1X10^-4乇至2X10^-14乇

INFICON，RGA技術(shù)的者按照當(dāng)今工藝和應(yīng)用要求更新了Transpector殘余氣體質(zhì)譜儀系列。Transpector 2提供更良好的氫檢測，更快速的掃描，擴展的動態(tài)量程，更高的同位素分辨靈敏度和的譜峰及幅值穩(wěn)定性。它是過程監(jiān)測，過程診斷與檢漏，是廣大客戶zui明智的選擇。

Transpector 2是基于四極場的智能傳感器，全部傳感器電子驅(qū)動加上微處理器安裝在一個附在傳感器的小型輕便的密閉匣內(nèi)。由于它是智能的傳感器具有相當(dāng)?shù)撵`活性，您可使用當(dāng)前的計算機或從INFICON選購PC和軟件包，兩種通訊鏈接。RS232用于單傳感器，RS485用于多傳感器配置。簡單的指令協(xié)議支配全部Transpector功能。

Transpector 2提供更精確可靠的數(shù)據(jù)是由采用RF和前置放大器測量電路。這些電子學(xué)提高了氫的檢測性能和降低了所有氣體的zui小可檢分壓，從而得到更好的污染控制，以及更快速更穩(wěn)定的掃描，*適合當(dāng)今快速工藝過程的要求。

改進帶來更靈敏的氫檢測

Transpector 2的RF電路，在保持適當(dāng)功率的同時使用較高的RF頻率，將氫的檢測提高至PPM量級。此外，由于RF頻率是數(shù)字合成的，它自動調(diào)整至適合于傳感器的頻率，并鎖定在這個頻率上。改進的PF電路減少預(yù)熱所需的時間，提供的峰幅值與位置的穩(wěn)定性，實際上免除了日常調(diào)諧質(zhì)量刻度的要求。

更快速的數(shù)據(jù)掃描

Transpector 2新的前置放大器允許用戶快速掃描低值訊號，從而跟上過程變化的進度。由于降低了噪聲數(shù)據(jù)更加穩(wěn)定與及時。當(dāng)使用電子倍增器取樣時，訊噪比可比原始的Transpector高至7倍（比法拉第模式高至10倍）。電子單元提供9個量級的動態(tài)量程（從1X10^-6至1X10^-15安）

Transpector 2與TWare32（或老的軟件如TranspectorWare）結(jié)合提供一個滿足當(dāng)前的科研生產(chǎn)過程監(jiān)測，和數(shù)據(jù)收集迫切需要的理想系統(tǒng)。可適用Windows95,98,2000,Me或MT的TWare32包含了整個陳列的基本RGA功能，包括趨向分析，條圖形式，檢漏，模擬和可選擇的譜峰模式。它還包含過程監(jiān)測功能包括處方的產(chǎn)生，自動化數(shù)據(jù)收集，和閾值限的設(shè)點。

各種軟件選件

如我們的標準軟件包（適用Windows的TWare32）不能滿足您的應(yīng)用的需要，我們可為客戶供應(yīng)特定的程序包。動態(tài)數(shù)據(jù)交換（DDE）驅(qū)動程序可自動設(shè)置用于通訊的Transpector，允許用戶要收集的數(shù)據(jù)和進入DDE-兼容程序，如EXCEL或WonderWare直接讀數(shù)據(jù)。

客戶特定的工具集成

INFICON為更應(yīng)用需要提供一種客戶特定的工具集成軟件包FabGuard。Fabguard利用基于工具的狀態(tài)和Transpector的RGA數(shù)據(jù)分析例程提供全面的報警。這個多功能的集成軟件包還可與RGA以外的傳感器如光輻射譜儀或粒子計數(shù)器通訊。采用許多半導(dǎo)體工具的SECS II接口，F(xiàn)abGuard要收集來自工具本身的數(shù)據(jù)，并將它們添加到各種分析算法中。

只支付您需要的性能

Transpector殘余氣體質(zhì)譜儀提供大量適合您應(yīng)用要求的選擇。為基本壓強的應(yīng)用我們供應(yīng)若干開式源的Transpector型號，范圍從1至300amu，用法拉第杯（FC）或電子倍增器/法拉第杯（EM/FC）組合，可根據(jù)實際的要求選用。

Transpector XPR2為過程監(jiān)測應(yīng)用提供zui簡單方式的氣體污染監(jiān)測和過程校驗。它運行于高至20毫乇的壓強，在過程中檢測低至10ppm的污染物。為滿足ppm或亞-ppm污染物的檢測要求，INFICON供應(yīng)Transpector CIS2（閉式離子源）。它的特點是配備完整的聯(lián)鎖抽氣系統(tǒng)，可從大氣壓至高真空進行過程取樣。

簡化的多傳感器系列配置

Transpector 2的多通道功能使多室裝置能更簡便和經(jīng)濟地運行。單個計算機可操作多臺Transpector在RS485網(wǎng)絡(luò)上與CIS和XPR等型號組成任何簡便與高性能的組合。每臺Transpector 2可通過它配置的DIP開關(guān)簡易地分配地址。為故障查找或服務(wù)功能，由RS232C接口通過HyperTerminal連接至計算機很容易完成任何傳感器網(wǎng)絡(luò)上的就地控制。在網(wǎng)絡(luò)上每個單元單獨地操作和與網(wǎng)絡(luò)上的其它傳感器同步運行，這樣每臺Transpector 2內(nèi)的全部繼電器和控制器連續(xù)動作。電源接口將由機臺或外接電源供應(yīng)的24伏電壓連接至Transpector 2。

保持您的工藝過程和儀器本身

Transpector 2儲存您的校準和設(shè)點數(shù)據(jù)，與控制計算機無關(guān)。（計算機的作用如一臺外圍設(shè)備，儲存與顯示您的過程數(shù)據(jù)，允許您與傳感器通訊）。這樣即使計算機與探頭的連接斷開或因任何其它原因丟失通訊，探頭將繼續(xù)進行監(jiān)測與控制。此外，當(dāng)總壓強超過工作中的探頭值限或電子學(xué)超過它的正常工作溫度時，編程的真空系統(tǒng)可自動關(guān)斷Transpector 2的發(fā)射。

Transpector 2可控制多至3個設(shè)點的狀態(tài)繼電器，為報警指示提供外訊號，或當(dāng)氣體超過它的規(guī)定值時將過程中止。兩個差分的10伏模擬輸入通道用于將RGA數(shù)據(jù)與模擬數(shù)據(jù)相結(jié)合（例如：總壓強，光輻射或溫度計數(shù)據(jù)）以及一個提供四個0-10伏輸出和模擬電路板選件。

兩個LED指示燈，一個顯示發(fā)射on 或off，另一個顯示Transpector 2的電源和是否作好通訊準備，提供Transpector狀態(tài)的就地指示，免除涉及對遙控位置的PD和軟件的需求。

Transpector 2INFICON殘余氣體質(zhì)譜儀一般用途：

下列應(yīng)用中的檢漏，真空故障查找和出氣研究：

1、 光學(xué)鍍膜

2、 表面科學(xué)

3、 退吸研究

4、 加速器/儲存環(huán)

5、 高能物理

6、 宇航工程

7、 MBE

工藝過程的特性化和監(jiān)測中：

1、 真空熱處理

2、 磁盤制造